手机看中经经济日报微信中经网微信

国内首条碳化硅全产业链生产线封顶

2021年01月20日 13:42   来源:经济日报-亚博电竞下载经济网   

  1月19日,湖南三安半导体项目最大单体M2B芯片厂房完成封顶,标志着国内首条碳化硅全产业链生产线厂房、湖南首个第三代半导体产业园项目(一期)Ⅰ标段完成全面封顶,预计年中实现全面投产。

  该项目总投资160亿,分两期建设,项目一期由中建五局三公司负责施工建设,主要包含碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器件封装等厂房及相关配套设施建设,建成投产后将形成两条并行的碳化硅研发、生产全产业链产线,产品为高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器件,可广泛用于新能源汽车、高铁机车、航空航天和无线(5G)通讯等。

  “半导体由于其精密性,对环境洁净度、温湿度、振动、ESD(静电控制)、AMC(气态分子级污染物)等都有一定的要求,芯片生产车间对于生产环境的空气洁净度非常挑剔,就算是一粒小小的粉尘,粘在芯片上也可能造成短路,进而直接影响成品率。”中建五局三公司项目负责人周祥介绍,三安半导体项目建成后将服务于技术密集型半导体产业,对空气洁净度提出了很高要求。其中芯片厂房更是提出了“百级”洁净度的要求。“所谓‘百级’洁净,即每立方英尺的空气中≥0.5微米粒径的粒子数量不超过100个,堪比最高洁净等级手术室的标准。”

  为保证无尘洁净室大面积生产车间的空气洁净度,需做好华夫板(利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板)高精度施工,建立洁净空调通风系统形成回风通道。项目技术负责人陆建臻介绍,芯片厂房华夫板厚度为70cm,可抗微震。华夫板面积为14100㎡,其中浇筑有35000个直径35cm的奇氏筒,相当于每2㎡就有5个用于换气的圆形孔洞,届时芯片产线将布置于华夫板之上,整个车间利用新风系统进气保证正压,并通过华夫板回风通道排气,保证车间洁净度。

  据了解,该项目全部建成后预计可实现年产值120亿元以上,可直接提供4500个就业岗位,并带动上下游配套产业产值预计超1000亿,提供近10000个就业岗位。

(责任编辑:张雪)

国内首条碳化硅全产业链生产线封顶

2021-01-20 13:42 来源:经济日报-亚博电竞下载经济网
查看余下全文